NanoSpotLight(nSL)Systemの紹介

UPW中の5nmの微小粒子のサンプリング手法

今回は粒子サンプリングに最適な機械をご紹介します。

概要

半導体製造分野では、近年のデバイス構造の微細化および高集積化に伴い、製造プロセスで使用する超純水（UPW）中の微粒子に関して、直径10nm以下の管理が必要となっています。今回、5nm～2.5μmの範囲のUPW中の微粒子を高効率でサンプリングし捕集できる装置として、Nano SpotLight System(nSL)をご紹介します。捕集された微粒子は、SEM（走査型電子顕微鏡）や、EDX/DES（エネルギー分散型X線分光法）などの装置で、形状、個数、また成分が分析されます。UPWシステムの管理、イオン交換樹脂やフィルターなどの各種構成部品の性能評価など、幅広い範囲で活用頂くことを期待しています。

動作原理

主要な構成品は、NanoParticle Extractor（NPE）とNanoParticle Collector（NPC）です。NPEはUPWのサンプルを特殊なネブライザーにより噴霧乾燥させてエアロゾル化し、次にNPCでは、凝縮法によりその微小粒子を3μm程度の液滴にした上で、慣性力を利用して捕集板の微小スポット（直径1mm以下）の上に捕集します。捕集板は外形１インチ（25.4mm）のシリコンウエハー、もしくはポリカーボネート製が提供可能です。

サンプリングと分析事例

UPWを11.5時間連続サンプリングし（A）、SEMで観察した画像（B）、捕集パターンが判ります。その一部を拡大した結果が（C）、またその一部をEDS（エネルギー分散型Ｘ線分光器）で元素分析を行った結果が（D）となります。

この他にも多数の計測器を用意しておりますので、ご興味を持たれた方はお気軽にご連絡ください。

[FAQ]
よくいただくご質問

弊社カスタマーサポートにおいて、よくいただくご質問をご紹介いたします。

● お客様　：高温下で計測できる風速計を探しているのですが、対応できる風速計はありますか。
● 窓口担当：本体がMODEL6162となり、200℃までであればプローブはMODEL0203、500℃までであればMODEL0204かMODEL0205で計測は可能です。

● お客様　：ケーブルの耐熱温度はそれぞれ何度までですか。
● 窓口担当：プローブと本体を接続する接続ケーブルは80℃となっております。またプローブについては部分によって耐熱温度が異なります。詳細はカタログにも記載をしておりますので、ぜひ一度、ご覧ください。

● お客様　：ダクトの中に設置して計測したいのですが、何か固定方法や冶具などはありますか。
● 窓口担当：プローブを固定する、コンプレッションフィッティングという部材がございます。MODEL0203用であればMODEL0203-02、MODEL0204、0205用であれば、MODEL0204-01となりますので、併せてご注文ください。

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[EVENT]
出展イベントご案内

弊社が出展予定の、学会や展示会などのイベント情報をご紹介いたします。

人とくるまのテクノロジー展 2019 横浜

2019.5.22～5.24

会場：パシフィコ横浜・展示ホール＜小間番号：188＞（神奈川県）

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第6回カノマックス・インターナショナル・エアロゾルワークショップのご案内

2019.5.24

会場：AP品川アネックス　地下１F　会議室I＋会議室P

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