高精度希釈システムと

ナノパーティクル標準粒子の紹介
―　お手持ちの液中パーティクルカウンターを容易に現場で検定　－

　今回、高精度希釈システム（Precision Dilution System）モデル 9210と、ポリスチレンラテックス（PSL）（粒径30～500 nm）やコロイド状シリカ（粒径10～50 nm）のナノパーティクル標準粒子を紹介させて頂きます。双方を組み合わせて、超純水用液中カウンター（OPC,LPC）の精度確認を容易に行う事ができます。パーティクルカウンターをメーカー等の校正施設に発送する事なく、お客様の設備に設置した状態で、お客様ご自身で簡単に性能を検定する事が可能です。
また、本装置はフィルター効率試験や、半導体シリコンウエハー表面への粒子沈着研究を行うシステムの一環としてもご利用いただけます。

◆高精度希釈システム

（Precision Dilution System (PDS) ）

モデル 9210
・1L/minの超純水を使用する場合、最大20,000:1の希釈が実現できます。
・流量10 mL～1,000 mL/minのOPC,LPCに対応します。
・軽量で堅牢、小型、またシンプルな取り扱いです。

ナノパーティクル標準粒子
　カノマックスが提供するナノサイズの標準粒子です。粒子径と共に、個数濃度を試験し確認しています。ポリスチレンラテックス（PSL）球体粒子は、米国国立標準技術研究所（NIST）のトレーサブルです。また、コロイダルシリカは欧州標準物質（ERM）のトレーサブルです。ナノサイズの粒径と濃度の基準としてご利用頂けます。

ポリスチレンラテックス(PSL) 球体粒子
　米国標準基準局（NIST）トレーサブルのPSL標準粒子です。
粒径：20～300 nm、単体粒径、もしくは混合粒径も提供可能です。

コロイダルシリカ
　ERMトレーサブルのコロイダルシリカ標準粒子です。
粒径10, 20, 30, 50, 100 nm。125mLボトル入りです。(1E11/mL）

液中パーティクルカウンターの検定例
　PMS社製液中パーティクルカウンターUDI50を60,70,80,100 nmのコロイダルシリカ標準粒子を用いて校正状態を検定した結果を示します。濃縮標準液（mLあたり4×107粒子以上）には、精密な希釈が必要であり、精密希釈システム　モデル 9210を使用しています

この他にも多数の計測器を用意しておりますので、ご興味を持たれた方はお気軽にご連絡ください。

SEMICON Japan 2019

に出展いたします。

2019.12.11～12.13

会場：東京ビッグサイト南展示棟 1,2ホール（No.8320）（東京都）

SEMICON Japanは日本で唯一、半導体製造の前/後工程と

製造技術、装備、材料をカバーする大規模な展示会です。
弊社では、世界初の最小可測粒径10 nmを達成した、超純水の粒子汚染を

高感度で常時モニタリングできる液中パーティクルカウンター
「走査型液中ナノパーティクルカウンター　ScanningTPC　Model 9010」はじめ、
「LNS（Liquid Nanoparticle Sizer）」、質量分析器「infi-TOF」、各種気中パーティ
クルカウンターを展示し、皆さまのご来場をお待ち申し上げております。